CRF plasma 等離子清洗機(jī)

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    真空等離子清洗機(jī)可以改變材料的表層活性嗎?

    下面小編給大家介紹一下真空等離子清洗機(jī)的工作原理,由于等離子體中存在電子、離子、自由基等活性粒子,所以它本身就能與固體表面層產(chǎn)生反應(yīng)。在真空等離子體清洗過程中,主要依靠活性微粒的“附著作用”來(lái)達(dá)到去除物體表層污漬的目的。從反應(yīng)機(jī)制來(lái)看,等離子體清洗通常包括以下過程:無(wú)機(jī)氣體被激發(fā)為等離子體狀態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表層;被吸附基團(tuán)與固體表層分子反應(yīng)產(chǎn)生產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子分析形成氣相;反應(yīng)殘留物與表層分離。真空等離子體清洗技術(shù)的最大特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類型,可以處理金屬、半導(dǎo)體、氧化物、聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烯、環(huán)氧甚至聚四氟乙烯等多種高分子材料,可以實(shí)現(xiàn)整體、局部和復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。真空等離子清洗還具有以下特點(diǎn):易于采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度控制裝置,時(shí)間控制精度高;正確的等離子清洗不會(huì)在表面層產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;因?yàn)槭窃谡婵罩羞M(jìn)行的,所以不會(huì)污染環(huán)境,保證清洗表面層不會(huì)被二次污染。


     


    與濕法清洗相比,等真空離子清洗的優(yōu)點(diǎn)表現(xiàn)在以下七個(gè)方面:

         1.等離子清洗后,被清洗的物體已經(jīng)非常干燥,無(wú)需干燥即可送到下一道工序。

         2.不使用ODS有害溶劑,清洗后不產(chǎn)生有害污染物,是一種環(huán)保的綠色清洗方法。

         3.無(wú)線電波范圍內(nèi)高頻產(chǎn)生的等離子體不同于激光等直射光,方向性不強(qiáng)。因此,它可以深入物體的微孔和凹陷的內(nèi)部,完成清潔任務(wù)。因此,沒有必要過多考慮被清潔物體形狀的影響,這些難以清潔的部分的清潔效果與氟里昂相似甚至更好。

         4.整個(gè)清潔過程可以在幾分鐘內(nèi)完成,因此具有高效率的特點(diǎn)。

    等離子清洗所需真空度約為100Pa,在工廠實(shí)際生產(chǎn)中易于實(shí)現(xiàn)。這種裝置的設(shè)備成本不高,加上清洗過程不需要使用價(jià)格昂貴的有機(jī)溶劑,因此它的運(yùn)行成本要低于傳統(tǒng)的清洗工藝。

         5、無(wú)需運(yùn)輸、運(yùn)輸、貯藏、排放等處理措施,生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)容易保持清潔衛(wèi)生。

         6、等離子清洗的最大技術(shù)特點(diǎn)是不分處理對(duì)象,可以處理不同的基材,金屬、半導(dǎo)體、氧化物、高分子材料(例如聚丙烯、聚氯乙烯、四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹脂等高分子材料)等等離子材料可以很好地處理而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗。

         7、在清除污垢的同時(shí),還可以改變材料本身的表層性能,如提高表層的潤(rùn)性能,改善膜的附著力等,在很多應(yīng)用領(lǐng)域中非常重要。

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