CRF plasma 等離子清洗機

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    誠峰低溫大氣等離子清洗機氣體放電等離子體及應用的探討

    誠峰低溫大氣等離子清洗機氣體放電等離子體及應用的探討:
           誠峰低溫大氣等離子清洗機等離子體特性與放電特性密切相關,而放電特性與激勵電源、放電模式及產生的條件有關,產生低溫大氣等離子清洗機的等離子體的氣體放電形式多種多樣,依據所加的次數主要有:電弧放電、榮容性耦合射頻放電、感性耦合射頻放電、微波放電、標準大氣壓電弧放電、螺旋波等離子體等。

    大氣等離子清洗機

           獲得等離子體的方式有很多種,依據所加的次數不一樣,可以分為直流放電、低頻放電、高頻放電、微波放電等多種類型。低溫大氣等離子清洗機制造前期,對低氣壓大氣等離子體放電進行了普遍和進一步的探討。低氣壓具有比較低的擊穿電壓,容易實現穩定放電,還可以在較大尺度內實現均勻放電且其活性粒子濃度較高。
           空氣中通常采用平板電極和圓柱電極兩種結構。為實現標準大氣壓介質阻擋放電,需在兩邊金屬電極之間的氣隙空間至少插入1塊絕緣介質(通常采用玻璃、石英、陶瓷等材質),且在兩邊電極施加交流電壓源。隨著外部電壓的增大,介質阻擋放電的擊穿類似于其它放電,在外電場作用下,電子加速并獲得能量,通過與周圍原子分子的碰撞發生能量轉移,使原子分子的激發而產生電子雪崩。當放電氣隙電壓大于氣體擊穿電壓時,氣隙被擊穿,放電發生。


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